´ó¹¦ÂÊ°ëµ¼Ì弤¹âÆ÷ÒòÆä½á¹¹¼òµ¥£¬Ìå»ýÖØÁ¿Ð¡±ãÓÚЯ´ø£¬¹©µç¼òµ¥µÈÌص㣬ÒѾȡ´ú¹ÌÌ弤¹âÆ÷³ÉΪ¼¤¹âÒ½ÁÆÃÀÈÝÁìÓòÀíÏëµÄ¹âÔ´¡£½ü¼¸ÄêÀ´£¬Ó¦ÓÃÓÚÍâ¿ÆÊÖÊõ¡¢ÑÛ¿Æ¡¢ÑÀ¿Æ¡¢Æ¤·ô¿Æ¡¢ÍÑëµÈÒ½ÁÆÃÀÈÝÁìÓòµÄ¼¤¹âÆ÷ÖðÄêÔö³¤¡£°ëµ¼Ì弤¹âÆ÷µÄ׼ȷÐԺͿìËÙÐÔ£¬ÒÔ¼°¹¦ÂÊÃܶȸߺͿɽøÐйâѧÕûÐεÈÌØÐÔÈð뵼Ì弤¹âÆ÷ÔÚ¹¤Òµ¼Ó¹¤·½Ãæ,È缤¹âº¸½Ó¡¢¼¤¹âÈÛ¸²µÈµÃµ½Á˹㷺µÄÓ¦Ó᣼¤¹âͨѶ¼¼ÊõÊÇÒ»ÖÖÒÔ¼¤¹âÐźÅ×÷ΪÐÅÏ¢´«ÊäµÄÔØÌ壬ͨ¹ý´óÆø´«²¥µÄÎÞÏßµçͨѶ£¬ÆäÖ÷ÒªÌصã°üÀ¨¼¤¹âµÄµ¥É«ÐԺᢷ½ÏòÐÔÇ¿¡¢¹¦Âʼ¯ÖС¢ÈÝÒ×°²×°µÈÌص㱻¹ã·ºÓ¦Óá£ÖÇÄÜÊÖ»úºÍÓÃÓÚ×Ô¶¯¼ÝÊ»Æû³µµÄ¼¤¹âÀ×´ïµÈÐÂÐËÏû·Ñµç×ÓÆ÷¼þµÄ·¢Õ¹£¬Öð½¥½«¼¤¹âÆ÷µÄÓ¦ÓÃÍÆÏòȫеĸ߶ȡ£ÔÚ¹âÏËͨѶÖУ¬°ëµ¼Ì弤¹âÆ÷×÷Ϊ¹âÔ´·¢Õ¹Ê®·ÖѸËÙ¡£°ëµ¼Ì弤¹âÆ÷µÄÖî¶àÌصãÔÙ¼ÓÉϹâÏ˵ĵÍËðºÄ£¬¼ÓËÙÁ˹âÏËͨѶµÄ·¢Õ¹¡£¼¤¹âÆ÷ÔÚ¹âͨѶÁìÓòÖеÄÓ¦ÓÃÖ÷ÒªÔÀíΪ¹â·¢ÉäÄ£¿é½«µçÐźÅת»»Îª¹âÐźţ¬¹â½ÓÊÕÄ£¿é½«¹âÐźÅת»»³ÉµçÐźš£¹â·¢ÉäÄ£¿éÐèÒª·¢ÉäºìÍâ¹âµÄÆ÷¼þ£¬Ò»°ãΪ±ß·¢Éä°ëµ¼Ì弤¹âÆ÷¡¢´¹Ö±Ç»Ãæ·¢É伤¹âÆ÷(VCSEL)ºÍºìÍâ¹â¶þ¼«¹ÜÈýÖÖ¡£ÆäÖа뵼Ì弤¹âÆ÷ÓÈÆäÊÇVCSEL,ÒòΪÆä¹âÊøÖÊÁ¿ºÃ¡¢Ä£Ê½µÍ¡¢Îȶ¨ÐԸߡ¢ÊÙÃü³¤£¬ñîºÏЧÂʸߵÈÌØÕ÷£¬ÔÚ¹âͨÐÅÁìÓòÔö³¤Ñ¸ËÙ¡£¼¤¹âÀ×´ï²âÁ¿¼¼Êõ(Light Detection And Ranging,LiDAR)´Ó×î³õµÄ΢²¨À×´ï·¢Õ¹ÖÁ¼¤¹âÀ×´ï¡£Ïà±ÈÓÚ΢²¨À״¼¤¹âÀ×´ïµÄ²¨³¤Òª¶ÌºÜ¶à£¬²¨Êø¸üÕ£¬Òò´ËÆäÌå»ý»á¸üС¡¢ÖØÁ¿¸üÇᣬ¾ßÓиü¸ßµÄ½Ç¶È·Ö±æÂʺͿ¹¸ÉÈÅÐÔ¡£³ýÁ˾üÊÂÁìÓòµÄÓ¦Ó㬼¤¹âÀ×´ïҲѸËÙÏòÃñÓÃÊг¡À©Õ¹¡£ÆäÖУ¬ÎÞÈ˼ÝÊ»¿ÉÒÔ˵ÊÇ×îÈÈÃŵÄÒ»¸öÓ¦ÓᣳµÔؼ¤¹âÀ×´ï×÷Ϊ×Ô¶¯¼ÝÊ»Æû³µ×îÖØÒªµÄ´«¸ÐÆ÷Ö®Ò»£¬Æ侫׼²âÁ¿¡¢Ê¶±ðºÍ¸ú×ÙÄ¿±êÎïµÄÌص㣬¿ÉÒÔ°ïÖúÎÞÈ˼ÝÊ»Æû³µ±Ü¿ªÕÏ°Îï,ÆäÔÚ»úÆ÷ÖеÄ×÷ÓÃÏ൱ÓÚÈËÀàµÄÑÛ¾¦£¬Äܹ»È·¶¨ÎïÌåµÄλÖᢴóС¡¢ÍⲿÐÎòÉõÖÁ²ÄÖÊ¡£¼¤¹âÀ×´ïµÄ¹¤×÷ÔÀíΪÏòÄ¿±ê·¢ÉäÔز¨Ì½²âÐźţ¬Í¨¹ý²âÁ¿·´ÉäÐźŵĵ½´ïʱ¼äºÍ²¨Êø·½Ïò¡¢ÆµÂʱ仯µÈÀ´È·¶¨²âÁ¿Ä¿±êµÄ¾àÀë¡¢·½ÏòºÍËٶȡ£°ëµ¼Ì弤¹âÆ÷оƬ°´ÕÕ·¢¹â·½Ïò¿ÉÒÔ·ÖΪ´¹Ö±Ç»Ãæ·¢Éä°ëµ¼Ì弤¹âÆ÷ Vertical Cavity Surface Emiting Laser (VCSEL) ºÍ±ßÔµ·¢Éä°ëµ¼Ì弤¹âÆ÷ Edgc-Emitting Laser ( EEL)¡£VCSEL ÒòΪÆä¹âÊøÖÊÁ¿ºÃ¡¢ÆµÂʸߵÈÌص㱻¹ã·ºÓ¦ÓÃÔÚ¼¤¹âͨѶºÍÏÔʾµÈÁìÓò¡£µ«¹¦ÂÊÏà¶Ô½ÏµÍÊÇÆäÒ»¸öÖØÒªµÄÏÞÖÆÒòËØ¡£Òò´Ë´ó¹¦ÂÊ°ëµ¼Ì弤¹âÆ÷ͨ³£Ñ¡Ôñ±ßÔµ·¢ÉäоƬ¡£
2004Ä꣬VCSELÊ״νøÈëÏû·Ñµç×Ó²úÆ·£ºLogitech MX1000¼¤¹âÎÞÏßÊó±ê£¬³ÉΪ¼¤¹âµ¼º½£¨¶¨Î»£©´«¸ÐÆ÷µÄ¹âÔ´¡£2017Ä꣬VCSELÕóÁÐÊ״νøÈëÆ»¹ûiPhone X£¬³ÉΪ3DÈËÁ³Ê¶±ðµÄ¹âÔ´¡£ÕâÒ²´ø»ðÁËÕû¸öVCSEL²úÒµ£¬Êг¡¹æģѸËÙÀ©´ó¡£VCSEL¼¼ÊõÄ¿Ç°ÔÚÈËÁ³Ê¶±ð¡¢3D¸Ð²â¡¢Æû³µ×Ô¶¯¼ÝÊ»¡¢ÊÖÊÆÕì²âºÍVR£¨ÐéÄâÏÖʵ£©/AR£¨ÔöÇ¿ÏÖʵ£©/MR£¨»ìºÏÏÖʵ£©µÈÓ¦ÓÃÁìÓò±¸ÊܹØ×¢¡£
VCSELÓÐÖî¶à·½ÃæµÄÓŵã
Ò»¡¢Æä³öÉä¹â°ßÊÇÔ²Ðεģ¬ÈçÏÂͼ×ó²à£¬¶øEELµÄ³öÉä¹â°ßÊÇÍÖÔ²Ðεģ¬VCSELµÄÔ²Ðιâ°ß¸üÒ×ÓÚÓë¹âÏËñîºÏ£¬ñîºÏЧÂʱÈEELµÄ´óºÜ¶à£»
¶þ¡¢VCSELµÄ·¢¹â·½ÏòÊÇ´¹Ö±µÄ£¬¶øEELÊÇ´Ó²àÃæ³ö¹â£¬VCSEL´¹Ö±³ö¹â¸üÊʺÏÓÃÀ´×ö³É¶þάÕóÁÐÐÎʽ£»
Èý¡¢VCSELãÐÖµµçÁ÷ºÜС£¬¿ÉÒÔÔÚ1~2mAÖ®¼äµÄµÍµçÁ÷Ϲ¤×÷£¬Äܺĵͣ»
ËÄ¡¢VCSELÔÚ·â×°Ç°¾Í¿ÉÒÔ¶ÔоƬ½øÐмì²â£¬½øÐвúƷɸѡ£¬¼«´ó½µµÍÁ˲úÆ·µÄ³É±¾£¬¶ø¶ÔÓÚEEL£¬±ØÐë¶Ô¾§Ô²½øÐÐÇиȻºó¹¹½¨Æ÷¼þµÄÆäÓಿ·Ö²¢¶ÔÆä½øÐвâÊÔ£¬Õâ»áʹ²âÊÔ±äµÃ¸ü¼ÓÀ§ÄÑ¡£
VCSELÕóÁйâÊøÖÊÁ¿·ÖÎö»ù±¾ÔÀí½éÉܼÙÉèÿ¸öµ¥ÔªµÄÖÐÐļä¾àΪ130¦Ìm£¬ËùÒÔÿ¸öµ¥ÔªµÄÕ¼µØΪ130¦Ìmx130¦ÌmµÄÕý·½ÐΡ£ÓÉÓÚÿ¸öVCSELµ¥Ôª¶¼ÓÐÒ»¶¨µÄ·¢É¢½Ç£¬ËùÒÔÿ¸öµ¥ÔªµÄ¹âÊøÖ±¾¶»áËæ×Å´«²¥¾àÀëµÄÔö¼Ó¶øÔö¼Ó£¬ÔÚ¹âÊø´«²¥Ò»¶Î¾àÀëÖ®ºó¹âÊø»á¿ªÊ¼Öغϣ¬ÖغÏʱ¹â°ßµÄÖ±¾¶¿ªÊ¼´óÓÚ130¦Ìm£¬¹âÊøµÄ·¢É¢½ÇÔ½´ó£¬¹âÊø¿ªÊ¼ÖغϵľàÀëÔ½¶Ì¡£ÔÚ¹âÊøÖغÏ֮ǰ£¬µÃµ½µÄ¹âÇ¿·Ö²¼Êǽü³¡Í¼Ïñ£¬ÆäͼÏñΪÿ¸öVCSELµ¥ÔªµÄ¹â°ß¡£¾¹ý½Ï³¤¾àÀëµÄ´«²¥£¬Ã¿¸öVCSELµ¥ÔªµÄ¹â°ß¿ªÊ¼Öغϣ¬ÎÒÃǵõ½VCSEL ÕóÁеÄÔ¶³¡Í¼Ïñ¡£ÎÒÃÇÀûÓÃÅÄÉãÏÔ΢ÕÕƬµÄ·½Ê½»ñµÃÁËVCSELÕóÁеĽü³¡Í¼Ïñ£¬ÀûÓà CCDÏà»úÅÄÉã¹âÆÁÉϵÄÏñµÄ·½Ê½»ñµÃÁËVCSEL ÕóÁеÄÔ¶³¡Í¼Ïñ¡£ÏÂͼΪÀûÓà CCDÏà»úÅÄÉãÔ¶³¡Í¼ÏñµÄʾÒâͼ£¬¹âÆÁ¾àCCDÏà»úµÄ¾àÀëΪ¾µÍ·µÄ½¹¾à£¬´Ëʱ¹âÆÁÉϵÄÏñ±»¾µÍ·ËõС¹Ì¶¨±¶ÊýºóͶÉäµ½¸Ð¹âÔ¼þÉÏ£¬ÕâÑù²»½ö¿ÉÒÔ²âÁ¿¹â°ßµÄ¹âÇ¿·Ö²¼£¬»¹¿ÉÒÔ²âÁ¿¹â°ßµÄ³ß´ç£¬ËùÒÔÎÒÃÇ¿ÉÒÔͨ¹ýÕâ¸öϵͳ²âÁ¿VCSELÕóÁз¢É¢½Ç¡£ÐèҪעÒâµÄÊÇ£¬ÔÚ²âÁ¿²»Í¬Î»Öô¦¹â°ß³ß´çʱ£¬ÐèÒª±£Ö¤¹âÆÁºÍ¾µÍ·µÄÏà¶ÔλÖò»±ä£¬·ñÔò»áµ¼Ö¹âÆÁ²»ÔÚ¾µÍ·µÄ½¹Æ½Ã棬ÕâÑùµÄ²âÁ¿½á¹ûÊDz»×¼È·µÄ£¬ËùÒÔÎÒÃÇ¿ÉÒÔÒƶ¯¼¤¹âÆ÷ÕóÁлòÕßͬʱÒƶ¯¹âÆÁºÍCCD¾µÍ·¡£
Ô¶³¡Í¼ÏñÖ÷Òª·´Ó³ÁË VCSEL ÕóÁеĹâÊøµÄÇ¿¶È·Ö²¼ºÍ·¢É¢½Ç¡£VCSELÕóÁÐÀ´Ëµ£¬½ü³¡Í¼ÏñÄܹ»°ïÖúÎÒÃÇÅжÏVCSEL ÕóÁÐÖÐÊÇ·ñÓÐË𻵵ĵ¥Ôª¡£ÏÂͼ·Ö±ðÊǽü³¡Ïà»úÓëÔ¶³¡Ïà»úÅÄÉãµÄͼÏñSEMISHAREÖÂÁ¦Îª¿Í»§Ìṩ¸ßÐÔÄܵľ§Ô²Ì½Õę̈Óë²âÊÔ·½°¸£¬Ä¿Ç°·þÎñÈ«Çò¿Í»§³¬¹ý1000¼ÒÒÔÉϵĸßУÓë¿ÆÑÐÔºËù¡¢FAB¹¤³§¡¢Ãæ°å³§µÈÆóÒµ£¬×÷ΪÖйúÕýÔÚáÈÆðµÄ°ëµ¼Ìå²âÊÔÉ豸ÐÐÒµµä·¶£¬¹«Ë¾ÔÚ°ëµ¼Ìå²âÊÔÁìÓòÓÐ×ÅÖî¶àµÄ³É¹¦¼¼Êõ°¸ÀýÓë¾Ñé¡£
SEMISHAREÌṩµÄ±ê×¼»¯Ó붨ÖÆ»¯Ì½Õę̈ϵͳ£¬º¸ÇÁË´ÓʵÑéÊÒµ½¾§Ô²³§µÄ²âÊÔÐèÇ󣬰üÀ¨£ºÊÖ¶¯Ì½Õę̈¡¢°ë×Ô¶¯Ì½Õę̈ºÍÈ«×Ô¶¯Ì½Õę̈¡£ÔÚÃæ°åÁìÓòÓÐTEG/LCD,OLED¼¤¹âÐÞ¸´»ú£¬´óÊý¾ÝȱÏݼì²â·ÖÀà¡£¹«Ë¾É豸¹ã·ºÓ¦ÓÃÓÚI-V£¯C-V²âÊÔ£¬RF/mmW²âÊÔ£¬¸ßѹ/´óµçÁ÷²âÊÔ£¬MEMS¡¢¸ßµÍβâÊÔ¡¢¹âµçÆ÷¼þ²âÊÔ£¬¾§Ô²¼¶Ê§Ð§·ÖÎö¡¢»ô¶û²âÊÔ¡£ 
