A系列全自动探针台
产品概要
支持SiC/GaN晶圆测试，大功率晶圆测试； 更换Chuck设计，可针对不同晶圆测试； 可与仪器仪表系统进行集成； 可升级高低温测试环境测试
基本信息
| 产品型号 | A8、A12 | 工作环境 | 开放式 |
| 电力需求 | 220V，50/60Hz | 操控方式 | 全自动 |
| 产品尺寸 | A8(1124 x 1111 x 925) ；A12(1600 x 1660 x 1450) | 设备重量 | 1.2T, 2T |
应用方向
晶圆测试、各类器件、Wafer等进行I-V、C-V、光信号、RF、1/f噪声等特性分析、射频测试等
技术特点
A8全自动探针台
●小尺寸轻重量，更小的占地面积
●微米级全闭环运动控制
●伯努利手臂支持薄片
●高精度和测试速度，大大提高测试效率
●24*7全天候在片探测
●高压大电流测试应用
A12全自动探针台
●高测试精度与测试速度，大大提升产能效益
●全自动化系统运行，快速安全可靠测试
●支持单点测试和连续测试
●综合控制系统，快速接入仪器测试
●XY最大速度(丝杆结构)：250mm/s;(直线电机)：500mm/s
●Index time(丝杆结构)：280ms;(直线电机)：200ms
●丰富的软件自动化测试 ，机械精度精确校准
●可升级自动wafer厚度测量和ID读卡
●内部防震系统装置，运行更稳定
