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温度卡盘

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在无制冷机的情况下，温度可低至-10℃ 在有制冷机的情况下，8寸卡盘可低至-60℃，12寸卡盘可低至-55℃ 仅空气 - 无液体或 Peltier 元件 �？榛低�，适应个性化测试要求定制化无需单独的吹扫空气源兼容所有主要的生产探针和所有主要的分析探针提供完整的硬件和软件集成开尔文三轴式(M)，3kV或10kV同轴式连接 500A脉冲同时满足-60°C至+300°C的测试温度需求可以保证在高达万伏的高压下超低漏电、免击穿

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探针座

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提供4种不同精度的亚微米级探针座供客户选择(0.1um/0.7um/2 um/10um)

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探针夹具

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固定在针座上面连接探针和信号线缆的机械装置，用于固定探针和引出信号。探针夹具会随着针座的 X-Y-Z旋钮调节而在X-Y-Z方向线性运动。

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气浮式自动平衡防震桌

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